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发布时间:2022-01-03 13:35:06
净化车间技术对我国电子信息产业发展意义重大,因为它与产品的成品率有着直接关系。电子行业对生产环境的要求非常高,特别是对直径小于1微米的颗粒特别敏感,因为它们能引起金属层之间的短路。因此建设电子厂净化车间是非常有必要的。对室内的微生物进行迅速而有效地排除,这里的措施主要有对换气次数和回风系统的优化。
??目前由于国际上大型电子企业纷纷到中国建厂,建设电子厂净化车间的需求也随之增加,中国的净化车间企业也快速发展。随着我国工业发展的日益高科技化,产品日益精密化、微型化,对洁净环境的依赖也越来越强,电子厂净化车间在我国存在着巨大的市场空间。
我们知道,在无尘车间工程中,温湿度、材料以及设备等因素都会对无尘车间的洁净度和使用产生很大的影响。今天就来聊一聊影响无尘车间工程的另外一项重要因素——气压。在这种情况下,无尘车间需要进行人工设置气压来达成生产和实验的所需环境条件。
在普通的环境下,气压会因为海拔的变化而产生变化,较为明显的便是青藏高原的气压远低于海平面的气压。而在无尘车间工程中,气压的高低有时候会直接影响到产品的生产或实验,其主要表现为压力对材料的影响和气压对液体沸点的影响。
在这种情况下,无尘车间需要进行人工设置气压来达成生产和实验的所需环境条件。一般在设置气压的时候,需要无尘车间达到足够密封的效果。当然,在达到一定高压或低压的情况下,工作人员是无法在其中生存的,需要穿戴一定的防护设备才能进行。
根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型:循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。
种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用,对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求,但运行成本较高,并且洁净室风速、风量调节困难,系统升级改造困难,因此操作灵活性很低。
第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低,而且操作灵活性很高,可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整,这些都能很好地满足半导体制造的需求,因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为1主要的净化设计方案。
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