宁波净化实验室工程在线咨询「多图」

对于无尘车间面积小，较分散；对振动、噪声等的控制要求相对较低的情况下，适合采用分散式空调净化系统。其优点是***费、运行费、占用建筑面积及空间都较集中式系统节省。一个比较典型的分散式空调净化系统为例，分析讨论如下。

??风热湿比线占。

??②根据房间余热量Q或余湿量W，按净化级别所要求的通风量G，确定在占线上的送风状态点S。Q-G（iN -/S）。

??③过S点作等d线，并根据加压风机的压头及其后的管道、静压箱与周围环境的换热决定气流的温升缸，一般情况At的值不大于1℃，根据温升量出，在过S的等d线确定c-，使At= ts - tc’。

??④根据空调机组在给定条件下的制冷量Qk及空气质量流量G。，确定其单位风量的携冷量△f。即室内回风经空调机组处理后的焓降量iN -/K。

??QK／GK=△f=iN -/K  。

??以N点为圆心，以iN -/K值为半径画弧线与。=90%～95%相对湿度线相交于K点。由N至K点的变化过程应是降温去湿的减焓过程。

??⑤连结K点与Os点。延长N点与C、点的连线与KQs线相交于C点。C点即为新风与经空调机组处理的回风的混合状态点。

无尘车间相对湿度控制不好，就有可能使无尘车间总体表现下降，而且还会带来以下这些一系列的影响。

　　1、***生长。***和其他生物污染(霉菌，病毒，***，螨虫)在相对湿度超过60%的环境中可以活跃地繁殖。一些菌群在相对湿度超过30%时就可以增长。而相对湿度处于40%至60%的范围之间时，可以使***的影响以及呼吸道感1染降至1低。所以无尘车间的相对湿度需要控制在一定范围。

　　2、相对湿度控制不好，容易造成无尘车间工程里的金属腐蚀。无尘车间正压值是指门窗全部关闭状态下，室内静压大于室外静压的数值。很多化学反应的速度，包括腐蚀过程，将随着相对湿度的增1高而加快。所有暴露在无尘车间周围空气中的表面都很快地被覆盖上至少一层单分子层的水。当这些表面是由可以与水反应的薄金属涂层组成时，高湿度可以使反应加速。一些金属，例如铝，可以与水形成一层保护型的氧化物，并阻止进一步的氧化反应；另一种金属，例如氧化铜，是不具有保护能力的。在高湿度的环境中，铜制表面更容易受到腐蚀。

　　3、无尘车间相对湿度控制不好会出现静电荷。而在一些较为特殊的条件下，这些条件的控制会变得困难起来，较为典型的便是冬季的低温。当相对湿度超过50%时，静电荷开始迅速消散，但是当相对湿度小于30%时，它们可以在绝缘体或者未接地的表面上持续存在很长一段时间。无尘车间相对湿度在35%到40%之间可以作为一个令人满意的折中，半导体无尘车间一般都使用额外的控制装置以限制静电荷的积累。

　　4、吸水性。相对湿度控制不好，对无尘车间吸水性产出一定的影响。

　　5、水汽冷凝。杭州豪俊净化工程有限公司是从事空调净化技术和产品的开发、生产及无尘洁净室工程安装的***厂商。在相对湿度较高的无尘车间工程环境中，浓缩水形的毛细管力在颗粒和表面之间形成了连接键，可以增加颗粒与硅质表面的黏附力。这种效应称为凯尔文浓缩，就是当相对湿度小于50%时并不重要，但当相对湿度在70%左右时，就成为颗粒之间黏附的主要力量。

根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。

种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用，对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。

第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。

第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为1主要的净化设计方案。