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在一些集成电路的精密机械车间中，对于无尘车间的洁净程度更加严格。甚至空气中的温度是需要控制在正负不超过二摄氏度的范围，原因在于集成电路的零部件极1小，微小的温差极可能带来零部件的膨胀或者收缩，直接影响到成品率。浙江无尘车间的天花板要求较为统一，除了洁净度之外，吸水能力和抗腐蚀能力有着一定的需求。

因此无尘车间前需要建设一定面积的缓冲区域，在人员、设备和物料进入无尘车间之前需要先在缓冲区域进行初步的清洁，保证其上含有的污染物被清除，不会对车间内的环境造成负1面的影响。这种缓冲区域称之为风淋车间。

根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。

种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用，对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。

第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。

第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为1主要的净化设计方案。

无尘车间也有属于自个的节能方法。

1、双温度冷冻循环：冷冻体系一般规划成能够承受1大负荷，不论1大负荷发生得是不是频频。流程中处于冷冻循环的冷冻水温度，是由一切负荷中只占一小部分的极点热负荷来断定，这仅仅许多状况中的一两种。这会形成冷冻才能过剩，在负荷缺乏的状况下功率低下。②根据房间余热量Q或余湿量W，按净化级别所要求的通风量G，确定在占线上的送风状态点S。

2、变速驱动的冷冻机：变速驱动冷冻机能够省去许多的能量和金钱，在采购新冷冻机的时分，指1定采购变速驱动冷冻机是划算的。用变速驱动冷冻机可下降能耗，一起让别的冷冻机可靠性运转。许多的观念都以为，变速驱动冷冻机的效果是极1好的。

3、马达功率：无尘车间的电能大多数都是由马达耗费的，适当地进步功率、适当地调理尺度，在翻新后，经济效果多半是不错的。功率添加几个百分点，赢利就会相应添加。优异的马达，纷歧定会花费太多。高功率意味着1小，在改动马达的尺度之前先尽量减小负荷。行业不同的行业对于无尘净化车间的要求是不同的，例如食品行业和家居行业对于卫生的要求就是不同的，一般对于卫生要求更高的行业造价更高。在输出质变化时，使用变速驱动能够进步操作功率。

4、换气次数：许多无尘车间净化工程都通过维持空气流量来坚持清洁度和颗粒数。在坚持洁净度的前提下，空气流速的下降能够下降缔1造及能耗本钱。换气次数下降20%就能够使风机的尺度下降50%。按照国际惯例，无尘车间净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。空气洁净度比节省能耗更主要，可是1新的研究成果已经有下降洁净本钱的记载了。