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电子无尘车间净化工程步骤

   无尘车间的地面以防滑为选择的优先，其次是坚固且不易产生裂缝。此类的材质在消毒处理上需要较为容易处理，且少部分行业需求有一定坡度的地面。

   然后则是天花板。浙江无尘车间的天花板要求较为统一，除了洁净度之外，吸水能力和抗腐蚀能力有着一定的需求。

根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。

种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用，对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。

第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。

第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为1主要的净化设计方案。

无尘车间施工要求

1、自流平地面处理，厚度2mm。

2、根据GMP规范要求，缝隙部位要做密封处理。

3、所有的配件与主体结构相连，防止松动和灰尘脱落。

4、缝隙应在正面密封。

5、根据GMP认证检查标准，符合下列要求：

    a.选用变形小的材料。

    b.墙壁和顶棚应平整、易清洗等。色彩要和谐，便于识别污染物。

    c.各个相接处的缝隙须密封。

6、作业中的发尘量须随时清扫。

7、装有过滤器的房间，不能有粉尘的作业。

8、保护好作业面，避免造成板材缺陷。