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在一些集成电路的精密机械车间中，对于无尘车间的洁净程度更加严格。甚至空气中的温度是需要控制在正负不超过二摄氏度的范围，原因在于集成电路的零部件极1小，微小的温差极可能带来零部件的膨胀或者收缩，直接影响到成品率。这种效应称为凯尔文浓缩，就是当相对湿度小于50%时并不重要，但当相对湿度在70%左右时，就成为颗粒之间黏附的主要力量。

因此无尘车间前需要建设一定面积的缓冲区域，在人员、设备和物料进入无尘车间之前需要先在缓冲区域进行初步的清洁，保证其上含有的污染物被清除，不会对车间内的环境造成负1面的影响。这种缓冲区域称之为风淋车间。

对于无尘车间面积小，较分散；对振动、噪声等的控制要求相对较低的情况下，适合采用分散式空调净化系统。其优点是***费、运行费、占用建筑面积及空间都较集中式系统节省。一个比较典型的分散式空调净化系统为例，分析讨论如下。接下来豪俊小编来给大家分享无尘车间建设四不原则：1、不带入:不向无尘车间带人任何灰尘，必须确保以下条件：A、过滤器与结构不产生灰尘泄漏。

??风热湿比线占。

??②根据房间余热量Q或余湿量W，按净化级别所要求的通风量G，确定在占线上的送风状态点S。Q-G（iN -/S）。

??③过S点作等d线，并根据加压风机的压头及其后的管道、静压箱与周围环境的换热决定气流的温升缸，一般情况At的值不大于1℃，根据温升量出，在过S的等d线确定c-，使At= ts - tc’。

??④根据空调机组在给定条件下的制冷量Qk及空气质量流量G。，确定其单位风量的携冷量△f。即室内回风经空调机组处理后的焓降量iN -/K。

??QK／GK=△f=iN -/K  。

??以N点为圆心，以iN -/K值为半径画弧线与。=90%～95%相对湿度线相交于K点。由N至K点的变化过程应是降温去湿的减焓过程。

??⑤连结K点与Os点。延长N点与C、点的连线与KQs线相交于C点。C点即为新风与经空调机组处理的回风的混合状态点。

无尘车间硬件设施的维护管理

1.无尘车间保持适当的正压(> 0.5mmAq)，防止洁净系统漏风。人员、设备和原材料进入无尘车间前，应做好清洁、擦拭等防尘工作，并妥善管理和设置空气过滤器。

2.防止室内粉尘产生:注意无尘车间材料的正确选择，如隔板和地板；制造设备的防尘、生产自动化和人员不聚集、清洁服装的管理、无尘车间设备的使用等。

3.室内灰尘不堆积:墙体应光滑无死角，无尘车间应定期维护和清洁，工艺设备周围应留有空间。

4.发生尘埃立即排除。