洁净***室施工承诺守信「豪俊净化」

对于无尘车间面积小，较分散；另外，空调长时间供暖带来的另外一个问题就是能源的加速使用，这对环保也是非常不友好的。对振动、噪声等的控制要求相对较低的情况下，适合采用分散式空调净化系统。其优点是***费、运行费、占用建筑面积及空间都较集中式系统节省。一个比较典型的分散式空调净化系统为例，分析讨论如下。

??风热湿比线占。

??②根据房间余热量Q或余湿量W，按净化级别所要求的通风量G，确定在占线上的送风状态点S。Q-G（iN -/S）。

??③过S点作等d线，并根据加压风机的压头及其后的管道、静压箱与周围环境的换热决定气流的温升缸，一般情况At的值不大于1℃，根据温升量出，在过S的等d线确定c-，使At= ts - tc’。

??④根据空调机组在给定条件下的制冷量Qk及空气质量流量G。，确定其单位风量的携冷量△f。即室内回风经空调机组处理后的焓降量iN -/K。

??QK／GK=△f=iN -/K  。

??以N点为圆心，以iN -/K值为半径画弧线与。=90%～95%相对湿度线相交于K点。由N至K点的变化过程应是降温去湿的减焓过程。

??⑤连结K点与Os点。延长N点与C、点的连线与KQs线相交于C点。C点即为新风与经空调机组处理的回风的混合状态点。

无尘车间正压值是指门窗全部关闭状态下，室内静压大于室外静压的数值。它是通过净化系统送风量大于回风量和排风量的方法来达到。为了保证无尘车间正压值，送风、回风和排风机1好联锁，系统开启时先启动送风机，再启动回风机和排风机;系统关闭时先关排风机，再关回风机和送风机，以防止无尘车间在系统开启和关闭时受到污染。虽然绝大部分的无尘净化车间都是安装有温度控制的空调，但由于外界温度较低，空调需要长时间工作供暖。

净化车间中对光源有特殊请求的车间，如：显像管厂的荧光粉涂敷间、半导体厂房中的光刻间，为了防止感光材料的感光，必须运用***或红色光源的，应满意其特殊请求选用***荧光灯管或低压钠灯，***荧光灯管也有两种，一种为灯管内壁涂***荧光粉;另一种为白色荧光灯管外套***塑料套管，他们的光通量比通常荧光灯都要低。对进入无尘净化车间的空气进行充分地灭菌，例如在净化空调上安装多重***过滤器，安装臭氧发生器等。

根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。

种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用，对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。

第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。

第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为1主要的净化设计方案。