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无尘车间硬件设施的维护管理

1.无尘车间保持适当的正压(> 0.5mmAq)，防止洁净系统漏风。人员、设备和原材料进入无尘车间前，应做好清洁、擦拭等防尘工作，并妥善管理和设置空气过滤器。

2.防止室内粉尘产生:注意无尘车间材料的正确选择，如隔板和地板；制造设备的防尘、生产自动化和人员不聚集、清洁服装的管理、无尘车间设备的使用等。

3.室内灰尘不堆积:墙体应光滑无死角，无尘车间应定期维护和清洁，工艺设备周围应留有空间。

4.发生尘埃立即排除。

无尘车间温湿度标准：相对湿度以控制在≤50%RH为宜

　　食品无尘车间对生产洁净度要求是比较高的，通常为10万级至万级以上，但同时车间的湿度越低越容易滋生***，***和其他生物污染(霉菌，病毒，***，螨虫)在相对湿度超过60%的环境中可以活跃地繁殖。确定作业的内容，具体如净化空调怎么安装、地板和墙面怎么安装、安装时采用什么主材料和辅助材料。一些菌群在相对湿度超过30%时就可以增长。在相对湿度处于40%至60%的范围之间时，可以使***的影响以及呼吸道感1染降至很低。

根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。

种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用，对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。

第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。

第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为1主要的净化设计方案。